（佛山）作為推行“低碳經(jīng)濟”的重要科技進步，太陽能光伏發(fā)電成為2010年上海世博會的“亮點”．太陽能光伏發(fā)電最關鍵的材料是高純硅．三氯甲硅烷（SiHCl₃）還原法是當前制備高純硅的主要方法．生產流程示意圖如下：
（1）三氯甲硅烷（SiHCl₃）是由________種元素組成的純凈物．
（2）“精餾”也是蒸餾的一種形式．通過蒸餾可把液體混合物分離開，原理是利用混合物各成分的________（填“熔點”或“沸點”）不同．
（3）寫出從粗硅到SiHCl₃（粗）的化學方程式________．
（4）為了達到綠色化學和資源綜合利用的目的，上述生產流程中某些物質可循環(huán)使用，這些物質是________（填化學式）．
（5）石英砂的主要成分是SiO₂，含有少量Al₂O₃．若要除去石英砂中少量的雜質，可選用的試劑是________（填化學式）．